In campis fabricationis accuratae et investigationis scientificae, planities tabularum graniticarum accuratarum est index clavis ad accuratam apparatuum confirmandam. Sequitur introductio accurata ad plures modos detectionis communes et rationes operationis earum tibi.
I. Methodus detectionis interferometri laseris
Interferometrum lasericum instrumentum praeferendum est ad planitiem detegendam altae praecisionis. Exempli gratia, interferometrum lasericum ZYGO GPI XP sumatur, cuius resolutio 0.1nm attingere potest. Detectione peracta, primum fontem lucis interferometri cum suggestu ordina et superficiem suggestus in areas reticulatas 50mm×50mm divide. Deinde, data fimbriarum interferentialium punctatim collecta sunt, et data aptata et analysata sunt utens polynomio Zernike ad errorem planitiis obtinendum. Haec methodus applicatur suggestis altae praecisionis et errores planitiis ≤0.5μm/m² detegere potest. Communiter adhibetur in detectione machinarum photolithographicarum et suggestuum machinarum mensurae trium coordinatarum summae qualitatis.
Ii. Methodus Ordinationis Libellae Electronicae
Detectio ordinis electronici librarum simplex est ad operativitatem et summae efficacitatis. Libella electronica TESA A2 (cum resolutione 0.01μm/m) selecta et in ordine 9×9 secundum axem X/Y suggestus disposita est. Synchrone data inclinationis cuiusque librae colligendo et deinde methodo minimorum quadratorum ad calculandum utendo, valor planitatis accurate obtineri potest. Haec methodus condiciones locales concavitatis et convexitatis suggestus efficaciter identificare potest. Exempli gratia, fluctuatio 0.2μm intra spatium 50mm etiam detegi potest, quod aptum est ad detectionem rapidam in productione magna.
III. Methodus Crystalli Plani Optici
Methodus crystalli plani optici apta est ad detectionem parvarum arearum tabularum. Crystallum planum opticum arcte ad superficiem examinandam in tabula adfige et fimbrias interferentiales inter eas formatas sub illuminatione fontis lucis monochromaticae (velut lampadis sodii) observa. Si striae rectae parallelae sunt, bonam planitiem indicat. Si striae curvae apparent, errorem planitatis secundum gradum curvaturae striae calcula. Quaeque stria curva differentiam altitudinis 0.316 μm repraesentat, et data planitatis per simplicem conversionem obtineri possunt.
Quattuor. Methodus inspectionis machinae mensurae trium coordinatarum
Machina mensurae tricoordinatae mensuram altae praecisionis in spatio tridimensionali assequi potest. Ponatur suggestus graniticus super mensam laboris machinae mensurae et, specillo utendo, notitias uniformiter ex multis punctis mensurae in superficie suggestus colligit. Systema machinae mensurae has notitias tractat et resolvit ut relationem de planitudine suggestus generet. Haec methodus non solum planitatem detegere potest, sed etiam alios parametros geometricos suggestus simul obtinere, et apta est ad detectionem completam magnorum suggestuum graniticorum.
Peritia harum methodorum detectionis adiuvare potest te accurate aestimare planitiem tabulae praecisionis graniticae et praebere certam cautionem stabilis operationis instrumentorum praecisionis.
Tempus publicationis: XXIX Maii, MMXXXV