In agro fabricationis summae qualitatis et investigationis scientificae novissimae, modulus motus ultra-praecisus aëris fluctuantis instrumentum clavis ad operationem subtilem et mensuram factus est propter praeclaram suam praecisionem. Basis granitica praecisa, ut nucleus sustentans, requisitis strictis pro ambitu laboris obnoxia est, et condiciones ambientales idoneae fundamentum sunt ad stabilem eius functionem et effectum optimum confirmandum.
Primum, temperatio: "stabilisator" accuratius
Quamquam granitum propter stabilitatem suam notum est, non tamen omnino immunis est mutationibus temperaturae. Etsi coefficiens expansionis thermalis eius humilis est, plerumque 5-7 × 10⁻⁶/℃, in condicionibus moderationis motus ultra-praecisionis, fluctuationes temperaturae leves tamen mutationes dimensionales causare et accuratiam moduli afficere possunt. In officina fabricationis semiconductorum, processus lithographiae accuratiam positionis gradus danami requirit, et temperatura ambientis 1°C fluctuat, et basis graniti cum latere 1 metri longitudine expansionem vel contractionem linearem 5-7 micronorum producere potest. Haec parva mutatio per modulum motus ultra-praecisionis aeris fluctuantis transmittitur, quod sufficit ad deviationem formae lithographiae fragmenti faciendam et proventum magnopere reducendum. Quapropter, basi granitica praecisionis moduli motus ultra-praecisionis aëris fluctuantis instructi, temperatura idealis ambitus laboris ad 20°C ±1°C regi debet, ope instrumentorum temperaturae constantis altae praecisionis, ut systema refrigerationis aëris temperaturae et humiditatis constantis, continua monitoratione et adaptatione temperaturae ambientis, ut fluctuationes temperaturae in intervallo perparvo conserventur, stabilitas magnitudinis basis servetur, ut modulus operatio altae praecisionis efficiatur.
Secundo, moderatio humiditatis: clavis ad tutelam "lapidis" contra humiditatem.
Humiditas est alius factor magni momenti qui functionem basis graniticae praecisionis afficit. In ambiente altae humiditatis, granitum facile vaporem aquae absorbet, quod condensationem in superficie efficere potest, quae non solum stabilitatem connexionis graniti et moduli motus ultra-praecisionis aeris fluctuantis afficit, sed etiam erosionem superficiei causare et splendorem atque accuratiam longo tempore minuere potest. In officina triturae lentium opticarum, si humiditas diu plus quam 60% RH superat, vapor aquae in superficie basis graniticae adsorptus motum cursoris fluctuantis gasis impediet, ita ut accuratio triturae lentis minuatur et superficies vitiosa sit. Ergo, humiditas relativa ambitus laboris stricte inter 40%-60% RH moderanda est, quae tempore reali per dehumidificatoria, sensoria humiditatis, et alia instrumenta instituta monitorari et adaptari potest, ne basi granitica propter humiditatem altam laedatur, et ut lenis operatio moduli motus ultra-praecisionis aeris fluctuantis curetur.
Tertio, praestatio munditiae: "custos" praecisionis
Damnum pulveris particularum in basin graniti praecisionis moduli motus ultra-praecisionis flotationis aëris infertur, non potest subaestimari. Cum particulae minutae in spatium pelliculae gasis inter cursorem fluitationis gasis et basin graniti intraverint, uniformitatem pelliculae gasis destruere, frictionem augere, et etiam superficiem basis scalpere possunt, quo fit ut accuratio motus minuatur. In officina machinationis ultra-praecisionis partium aëronauticarum, si particulae pulveris in aere in basin graniti incidunt, trajectoria motus instrumenti machinationis deviare potest, accuratio machinationis partium afficiens. Quapropter, area laboris valde munda servanda est, ad decem milia vel etiam altiora gradus puritatis pertingens, per institutionem instrumentorum purificationis aëris, ut filtra aëris altae efficientiae (HEPA), quae particulas pulveris in aëre excludunt; simul, operarii vestes sine pulvere, tegumenta calceorum, etc., gerere debent, ut pulvis ab hominibus allatus minuatur. Ambitus operationis altae praecisionis basis graniti et moduli motus ultra-praecisionis fluitationis aëris conservandus est.
Quarto, isolatio vibrationis: lenis operatio "pulvini ictus"
Vibratio externa inimica est praecisioni moduli motus ultra-praecisionis aëris natantis. Quamquam basis granitica praecisionis vim quandam attenuationis vibrationis habet, vibratio magnae firmitatis tamen limitem suum moderandi frangere potest. Vibratio a commeatu circa officinam et operatione magnarum machinarum mechanicarum generata per terram ad basin graniticam transmittitur, quod praecisionem motus moduli motus ultra-praecisionis aëris natantis impediet. In CMM summae qualitatis, vibratio contactum inter specillum mensurae et opus mensurandum instabilem reddere potest, quod deviationem datorum mensurae efficit. Ad hanc difficultatem solvendam, necesse est efficaces mensuras isolationis vibrationis adhibere, ut ponendo tabulas isolationis vibrationis in area installationis instrumentorum, aedificando fundamentum isolationis vibrationis, vel utendo systemate isolationis vibrationis activo ad vibrationem externam active compensandam, et creando ambitum laboris quietum et stabilem pro basi granitica praecisionis et modulo motus ultra-praecisionis aëris natantis.
Solum si plene requisitis ambitalibus temperaturae, humiditatis, munditiae et moderationis vibrationis satisfaciat, basis granitica praecisa moduli motus ultra-praecisi aëris fluctuantis commodis suis functionis plene uti, cautionem certam pro operationibus ultra-praecisis in variis campis praebere, et industriae auxilium ferre potest ut ad gradum fabricationis et investigationis scientificae altioris praecisionis progrediatur.
Tempus publicationis: VIII Aprilis MMXXXV