In fabricatione semiconductorum, machina photolithographica instrumentum clavis est quod praecisionem lamellarum determinat, et basis granitica, cum suis multiplicibus proprietatibus, pars indispensabilis machinae photolithographicae facta est.
Stabilitas thermalis: "Scutum" contra mutationes temperaturae
Cum machina photolithographica operatur, magnum calorem generat. Etiam fluctuatio temperaturae tantum 0.1℃ deformationem partium apparatus causare et accuratiam photolithographicam afficere potest. Coefficiens expansionis thermalis graniti infimus est, tantum 4-8 ×10⁻⁶/℃, qui est circiter tertia pars coefficiens chalybis et quinta pars coefficiens mixturae aluminii. Hoc permittit basi graniti stabilitatem dimensionalem conservare cum machina photolithographica diu operatur vel cum temperatura ambientis mutatur, ita ut accurata collocatio partium opticarum et structurarum mechanicarum fiat.
Praeclara efficacia antivibrationis: "Spongia" quae vibrationem absorbet
In officina semiconductorum, operatio instrumentorum circumstantium et motus hominum vibrationes generare possunt. Granitum densitatem magnam et texturam duram habet, et proprietates attenuationis excellentes habet, ratione attenuationis dupla ad quintuplo maior quam metallorum. Cum vibrationes externae ad basin graniti transmittuntur, frictio inter crystallos minerales internos energiam vibrationis in energiam caloricam ad dissipationem convertit, quae vibrationem brevi tempore significanter reducere potest, permittens machinae photolithographicae stabilitatem celeriter restituere et obscurationem vel disalignationem formae photolithographicae propter vibrationem vitare.
Stabilitas chemica: "Custos" ambitus puri
Interius machinae photolithographicae cum variis mediis chemicis in contactum venit, et materiae metallicae ordinariae corrosioni vel emissioni particularum obnoxiae sunt. Granitum ex mineralibus ut quarzo et feldspato constat. Proprietates chemicas stabiles et resistentiam corrosionis validam habet. Postquam in solutionibus acidis et alcalis maceratum est, corrosio superficialis minima est. Interea, structura eius densa fere nullas sordes vel pulverem generat, requisitis summorum normarum camerae purae satisfaciens et periculum contaminationis crustae minuens.
Adaptabilitas processus: "Materia idealis" ad creandas mensuras accuratas
Partes principales machinae photolithographicae in superficie referentiali summae praecisionis collocandae sunt. Structura interna graniti uniformis est et facile ad summam praecisionem per trituram, polituram, aliasque artes tractatur. Planities eius ≤0.5μm/m attingere potest, et asperitas superficialis Ra ≤0.05μm est, fundamentum accuratum installationis pro componentibus ut lentibus opticis praebens.
Longa vita et sine cura: "Instrumenta acuta" ad sumptus minuendos
Comparata cum materiis metallicis, quae fatigationi et fissuris obnoxiae sunt per usum diuturnum, granitum vix deformationem plasticam aut fracturam sub pondere normali patitur, nec curationem superficialem requirit, ita periculum desquamationis et contaminationis tegumenti vitans. In applicationibus practicis, post multos annos usus, indices clavis functionis basis graniti stabilis manere potest, sumptus operationis et conservationis instrumentorum minuendo.
A stabilitate thermali, resistentia vibrationi ad inertiam chemicam, multiplices proprietates basis graniticae requisitis machinae photolithographicae perfecte satisfaciunt. Dum processus fabricationis fragmentorum ad maiorem praecisionem progreditur, bases graniticae munus irreparabile in agro fabricationis semiconductorum agere pergent.
Tempus publicationis: XX Maii, MMXXXV