In agro inspectionis crustarum semiconductorum, puritas ambitus camerae purae directe cum proventu producti coniungitur. Cum praecisio processuum fabricationis fragmentorum pergit crescere, requisita pro suggestis portatoriis apparatuum detectionis magis magisque severa fiunt. Suggesta granitica, cum suis proprietatibus nullae emissionis ionum metallicorum et parvae pollutionis particularum, materias traditionales chalybis inoxidabilis superaverunt et solutio praeferenda pro apparatu inspectionis crustarum facta est.
Granitum est saxum igneum naturale, plerumque ex mineralibus non metallicis, ut quarzo, feldspato, et mica, compositum. Haec proprietas ei commodum praebet nullae emissionis ionum metallicorum. Contra, chalybs inoxidabilis, ut mixtura metallorum ut ferri, chromii, et niccoli, corrosioni electrochemicae in superficie sua obnoxius est propter erosionem vaporis aquae et gasorum acidorum vel alcalinorum in ambitu camerae purae, quod praecipitationem ionum metallicorum, ut Fe²⁺ et Cr³⁺, efficit. Postquam hi iones minuti superficiei crustae adhaerent, proprietates electricas materiae semiconductricis in processibus subsequentibus, ut photolithographia et corrosionis, mutabunt, derivationem tensionis liminis transistoris causabunt, et etiam circuitus breves in circuitu ducent. Data probationum institutorum professionalum ostendunt, postquam suggestum graniticum temperaturae et humiditatis simulatae camerae purae (23±0.5℃, 45%±5% RH) per 1000 horas continue expositum est, emissionem ionum metallicorum inferiorem limite detectionis (< 0.1ppb) fuisse. Ratio vitiorum laminarum, ex contaminatione ionum metallicorum causata, cum tabulata chalybis inoxidabilis adhibentur, usque ad 15% ad 20% ascendere potest.
Quod ad contaminationem particularum attinet, tabulae graniticae etiam egregie funguntur. Camerae mundae requisita altissima habent de concentratione particularum suspensarum in aere. Exempli gratia, in camerae mundae ISO Classis 1, numerus particularum 0.1μm per metrum cubicum permissus non excedit decem. Etiam si tabula chalybis inoxidabilis curationem politurae subiit, adhuc fragmenta metallica vel squamas oxidi producere potest, quae propter vires externas, ut vibrationem instrumentorum et operationem personarum, desquamantur, quae viam opticam detectionis impedire vel superficiem crustuli scalpere possunt. Tabulae graniticae, propter structuram mineralem densam (densitas ≥2.7g/cm³) et duritiam magnam (6-7 in scala Mohs), non sunt obnoxiae detritioni vel fractioni durante usu diuturno. Mensurae mensuratae ostendunt eas concentrationem particularum suspensarum in aere areae instrumentorum detectionis plus quam 40% reducere posse, comparatione cum tabulatis chalybis inoxidabilis, normas camerae mundae efficaciter servantes.
Praeter puritatem proprietatum, efficacia comprehensiva tabularum graniticarum etiam longe superat efficaciam chalybis inoxidabilis. Quod ad stabilitatem thermalem attinet, coefficiens expansionis thermalis tantum est (4-8) ×10⁻⁶/℃, minus quam dimidium coefficientis chalybis inoxidabilis (circiter 17×10⁻⁶/℃), quod melius potest accuratiam positionis instrumentorum detectionis conservare cum temperatura in camera pura fluctuat. Alta proprietas attenuationis (ratio attenuationis > 0.05) potest celeriter vibrationem instrumentorum attenuare et impedit ne sonda detectionis tremat. Eius naturalis resistentia corrosionis permittit ut stabilis maneat etiam cum exponitur solventibus photoresistentibus, gasibus corrosionis, aliisque chemicis, sine necessitate protectionis additae.
In praesenti, tabulae graniticae late in officinis fabricationis crustularum provectis adhibentur. Data ostendunt, post usum tabulae graniticae, errorem in detectione particularum superficiei crustularum sexaginta centesimis diminutum esse, cyclum calibrationis instrumentorum triplicatum esse, et sumptum productionis totalem viginti quinque centesimis imminutum esse. Dum industria semiconductorum ad maiorem praecisionem progreditur, tabulae graniticae, cum suis commodis principalibus, ut nulla emissio ionum metallicorum et parva pollutio particularum, stabile et fidum auxilium inspectioni crustularum praebere pergent, vis magna ad progressum industriae impellendam evadentes.
Tempus publicationis: XX Maii, MMXXXV