In campis ut fabricatione semiconductorum et instrumentis mensurae praecisionis, accuratio tabularum graniticarum praecisionis qualitatem operationis instrumentorum directe determinat. Ut accuratio tabularum normis respondeat, conatus ex duobus aspectibus adhibendi sunt: detectione indicatorum clavium et obsequio cum normis ordinariis.
Detectio indicatoris centralis: Moderatio accuratae multidimensionalis
Detectio planitudinis: Determinatio "planitudinis" plani referentialis
Planities est index principalis tabularum graniticarum praecisionis, et plerumque metitur interferometra laserica vel librae electronicae. Interferometrum lasericum potest accurate metiri undulationes minutas in superficie tabulae emittendo radium lasericum et principio interferentiae lucis utendo, cum accuratione ad gradum sub-micronicam pertingente. Libella electronica metitur per motus multiplices et mappam tridimensionalem superficiei tabulae delineat ut detegat num protrusiones locales vel depressiones sint. Exempli gratia, tabulae graniticae in machinis photolithographicis semiconductorum adhibitae requiruntur ut planities sit ±0.5μm/m, quod significat differentiam altitudinis intra longitudinem unius metri non excedere debere dimidium micrometrum. Solum per apparatum detectionis altae praecisionis haec norma stricta garantiri potest.
2. Detectio rectitudines: Cura ut motus linearis "rectitudo" fiat.
In suggestis quae partes mobiles praecisione portant, rectitudo maximi momenti est. Methodi communes ad detectionem sunt methodus filorum metallicorum vel collimator lasericus. Methodus filorum metallicorum suspensionem filorum ferreorum altae praecisionis et comparationem intervalli inter superficiem suggesti et fila ferrea ad rectitudinem determinandam implicat. Collimator lasericus proprietates propagationis linearis laseris utitur ad errorem linearem superficiei installationis ferri ductoris suggesti detegendum. Si rectitudo normam non attingit, apparatum movere faciet dum movetur, processum vel accuratiam mensurae afficiens.
3. Detectio asperitatis superficiei: "Subtilitatem" contactus cura.
Asperitas superficiei suggestus aptationem installationis partium afficit. Generaliter, stylus asperitatis mensurator vel microscopium opticum ad detectionem adhibetur. Instrumentum styli mutationes altitudinis profili microscopici per contactum superficiei suggestus cum specillo subtili notat. Microscopia optica texturam superficiei directe observare possunt. In applicationibus altae praecisionis, asperitas superficiei suggestuum graniti ad Ra≤0.05μm regi debet, quod effectui speculi aequivalet, quo fit ut partes praecisionis arcte aptentur durante installatione et vibratio vel dislocatio a rimis effecta vitatur.
Normae accuratae sequuntur: normas internationales et moderationem internam societatis.
Hodie, internationaliter, normae ISO 25178 et GB/T 24632 vulgo adhibentur ut fundamentum ad accuratiam tabularum graniticarum determinandam, et clarae classificationes indicatorum, ut planities et rectitudo, existunt. Praeterea, societates fabricatrices summae qualitatis saepe normas internas moderandi severiores statuunt. Exempli gratia, requisitum planitatis pro tabula granitica machinae photolithographicae 30% altius est quam norma internationalis. Cum probationes peraguntur, data mensurata cum normis correspondentibus comparanda sunt. Solum tabulae quae plene normis obtemperant stabilem functionem in apparatu accurato praestare possunt.
Inspectio accuratae tabularum graniticarum praecisionis est proiectum systematicum. Solum per diligentem probationem indicum principalium, ut planitiem, rectitudinem, asperitatem superficiei, et adhaerendum normis internationalibus et societatum, summa praecisio et fides tabulae garantiri potest, fundamentum firmum iaciens pro campis fabricationis summae qualitatis, ut semiconductoribus et instrumentis praecisionis.
Tempus publicationis: XXI Maii, MMXXXV