Partes graniticae saepe in fabricatione apparatuum semiconductorum propter stabilitatem mechanicam magnam et resistentiam contra ictum thermalem adhibentur. Attamen, ut aptae sint ad ambitus semiconductorum summae puritatis, quaedam curationes adhibendae sunt ad contaminationem camerae purae prohibendam.
Unus e gravissimis gradibus in tractatione partium graniticarum ad usum semiconductorum est purgatio. Partes diligenter purgandae sunt ut omne residuum olei, adeps, vel aliae sordes quae ambitum cubiculi puri contaminare possent removeantur. Hoc fieri potest utens materiis purgatoriis specialibus et technis quae ad usum in cubiculis puris destinatae sunt.
Postquam partes graniticae purgatae sunt, curationibus additis subiici possunt ut munditia superficialis earum augeatur. Exempli gratia, partes poliri possunt ut imperfectiones superficiales, quae particulas vel sordes capere possunt, removeantur. Politura variis modis fieri potest, inter quos politura mechanica, politura chemica, et politura electrochemica.
Praeter purgationem et polituram, partes graniti etiam tegumentis protectivis tractari possunt ad contaminationem prohibendam. Haec tegumenta variis modis applicari possunt, inter quae sunt tegumentum pulverisationis, sputtering, vel depositio vaporis. Tegumenta designari possunt ad protegendum contra varia genera contaminationis, inter quae sunt contaminatio chemica, particularum, et humiditatis.
Alia consideratio magni momenti in tractatione partium graniticarum ad usum semiconductorum est earum tractatio et conservatio. Partes in ambiente mundo et moderato tractandae et conservandae sunt ne contaminatio fiat. Hoc includere potest usum instrumentorum specialium tractationis, ut chirothecarum vel forceps, et conservationem partium in vasis conclavi puro idoneis.
Summa summarum, tractatio partium graniticarum ad usum semiconductorum requirit diligentem attentionem ad singula et perfectam comprehensionem normarum et protocollorum camerae purae. Sequendo optimas consuetudines et utendo technicis instrumentisque specialibus, fieri potest ut partes graniticae idoneae sint ad usum in ambitus semiconductorum summae puritatis.
Tempus publicationis: VIII Aprilis MMXXIV