Campus applicationis moduli motus ultra-precisi aeris flotantis unius axis utens basi granitica.

Fabricatio semiconductorum: In processu fabricationis microplacae, processus photolithographiae debet formam circuiti accurate ad laminam metallicam transferre. Basis granitica moduli motus ultra-precisi aere natantis unius axis potest praebere positionem altae praecisionis et firmamentum stabile pro mensa laminae metallicae in apparatu lithographico. Exempli gratia, ASML et alii fabri machinarum lithographicarum internationaliter noti modulos motus aere natantes cum basi granitica in apparatu suo summae qualitatis utuntur, qui accuratam positionem laminae metallicae in gradu nanometrico moderari possunt ut accuratam formam lithographicam confirment, ita integrationem et efficaciam microplacae emendantes.
Campus mensurae praecisionis: CMM est instrumentum mensurae praecisionis, vulgo in productione industriali adhibitum, quod ad magnitudinem, formam, et positionem accuratam materiae metiendam adhibetur. Modulus motus ultra-praecisionis, aëris fluitantis unius axis in basi granitica, ut suggestus motus CMM adhiberi potest, qui motum linearem altae praecisionis efficere et trajectoriam motus stabilem pro specillo mensurae praebere potest. Exempli gratia, CMM summae qualitatis Hexagon hac combinatione utitur ad partes magnas et complexas cum accuratione usque ad gradum micronis metiendas, praebens firmam cautionem pro qualitate partium in industria autocinetica, aëronautica, aliisque.
Campus aerospatialis: In processu et probatione partium aerospatialium, magna praecisio requiritur. Exempli gratia, machinatio alarum machinarum aeroplanorum accuratam moderationem trajectoriae motus instrumenti requirit ut accuratio figurae alae confirmetur. Basis granitica moduli motus ultra-praecisionis unius axis flotantis aëris centro machinationis quinque-axium aliisque instrumentis applicari potest ut moderatio motus altae praecisionis pro instrumento praebeatur et ut accuratio machinationis alae requisitis designi satisfacere possit. Simul, in processu compositionis machinae aeroplani, etiam necesse est instrumenta mensurae altae praecisionis adhibere ad accuratiam compositionis partium detegendam. Modulus motus aëris flotans basis graniticae stabilem sustentationem et motum accuratum instrumentis mensurae praebere potest ut qualitas compositionis confirmetur.
Campus inspectionis opticae: In processu fabricationis et probationis partium opticarum, necesse est positionem et mensuram partium opticarum summae praecisionis perficere. Exempli gratia, cum partes opticae summae praecisionis, ut specula et lentes, fabricantur, interferometra aliaque instrumenta adhibenda sunt ad accuratam formam superficiei detegendam. Basis granitica moduli motus ultra-precisi aerei unius axis fluitantis ut suggestus motus interferometri adhiberi potest, quod accuratam positionem sub-micronicam assequi et accuratam notitiarum sustentationem ad detectionem partium opticarum praebere potest. Praeterea, in apparatu processus laserici, etiam necesse est suggestum motus summae praecisionis adhibere ad trajectoriam scansionis radii laserici moderandam; basis granitica moduli motus aerei fluitantis huic requisito satisfacere potest, ut processus lasericus summae praecisionis efficiatur.

granitum praecisionis 14


Tempus publicationis: VII Aprilis MMXXXV