Num basis machinae graniticae propter calorem dilatabitur dum crustulae inspiciuntur?

In nexu principali fabricationis lamellarum — lustratione lamellarum — accuratio instrumentorum qualitatem lamellae determinat. Ut pars magni momenti instrumentorum, problema expansionis thermalis basis machinae graniticae magnam attentionem attraxit.

Coefficiens expansionis thermalis graniti plerumque inter 4 et 8×10⁻⁶/℃ est, quod multo inferius est quam metallorum et marmoris. Hoc significat, cum temperatura mutatur, magnitudinem eius relative parum mutari. Attamen notandum est expansionem thermalem humilem non significare nullam expansionem thermalem esse. Sub fluctuationibus temperaturae extremis, etiam minima expansio accuratiam nanoscalarem lustrationis laminarum afficere potest.

Dum lamellae lamellae scansione perficiuntur, multae sunt causae expansionis thermalis. Fluctuationes temperaturae in officina, calor ex operatione partium instrumentorum generatus, et temperatura alta instantanea a processu laserico effecta, omnia basin graniti "ob mutationes temperaturae expandere et contrahere" efficient. Postquam basis expansionem thermalem subit, rectitudo ferriviae ductoris et planities suggestus deviare possunt, quod in cursu motus mensae lamellae lamellae inaccurato effectum ducit. Partes opticae sustentantes etiam movebuntur, radium scansionis "deviare" faciens. Continuo diu laborando etiam errores accumulabuntur, accuratio peior et peior faciens.

Sed nolite solliciti esse. Homines iam solutiones habent. Quod ad materias attinet, venae graniticae cum minore coefficiente expansionis thermalis deligentur et curationi senescenti subiicientur. Quod ad moderationem temperaturae attinet, temperatura officinae accurate ad 23±0.5℃ vel etiam infra regitur, et instrumentum activae dissipationis caloris etiam pro basi designabitur. Quod ad designationem structuralem attinet, structurae symmetricae et fulcra flexibilia adhibentur, et monitorium in tempore reali per sensoria temperaturae fit. Errores a deformatione thermali effecti algorithmis dynamiciter corriguntur.

Instrumenta summae qualitatis, qualia sunt machinae lithographicae ASML, per has methodos, effectum expansionis thermalis basis graniticae intra limites angustissimos servant, ita ut accuratio inspectionis laminarum ad gradum nanometricum perveniat. Ergo, dummodo rite regatur, basis granitica electio certa pro instrumentis inspectionis laminarum manet.