Systema ferculorum aëriorum graniti late adhibentur inultra-praecisionemsuggesta motus ad fabricationem semiconductorum, ordinationem opticam, et metrologiam nanometricae scalae.
Haec systemata contactum mechanicum eliminant per tenuem pelliculam aeris pressam, motum frictionis prope nullum efficiendo.
Principium Ferendi Aeris
Cuscinetti aerei operantur introducendo aërem compressum inter duas superficies, pelliculam aëris 2-20 μm formando.
Hoc eliminat:
- Frictio mechanica
- Gerere
- Modus labendi et adhaerendi
Systema in dynamica pelliculae fluidae et fluxu laminari stabili nititur.
Munus Graniti
Granitum praebet:
- Stabilitas structuralis
- Suppressio fluctuationis thermalis
- Vibrationis mitigatio
Fungitur ut basis referentiae mechanicae pro systemate motus.
Partes Systematis
- Basis granitica
- Tegumenta aëria ferentia
- Systema aeris supplendi
- Encoders praecisionis
- Systema moderationis motus
Proprietates Perfunctionis
Typica perfunctio haec comprehendit:
- Accuratio positionis submicronica
- Alta rectitudo per longum iter
- Nulla reactio mechanica
Inter fontes errorum praecipuas sunt instabilitas pressionis aeris, derivatio thermalis, et error codificatoris.
Applicationes
- Inspectio lamellarum semiconductorum
- Systema lithographica
- Platae ad alignandas opticas
- Machinae metrologicae summae qualitatis
Quaestiones Frequentes
Num aëreae cuscinectae deteruntur?
Nullus contactus mechanicus detritionem tollit.
Cur granito utendum est?
Ad stabilitatem et vibrationum mitigationem.
Quid accuratiam limitat?
Stabilitas aeris et effectus thermales.
Possuntne onera gravia portare?
Ita, pro forma.
Tempus publicationis: III Iul. MMXXVI